UNE CONFIGURATION ORIGINALE DE MICROSCOPE OPTIQUE EN CHAMP PROCHE A SONDE PERTURBATIVE EN MODE TRANSMISSION A ETE DEVELOPPEE. ELLE ASSOCIE UN MICROSCOPE A FORCE ATOMIQUE COMMERCIAL TRAVAILLANT EN MODE RESONANT ET UN MICROSCOPE OPTIQUE INVERSE ASSURANT L'ECLAIRAGE DE L'ECHANTILLON ET LA COLLECTION D'UNE PARTIE DU SIGNAL DIFFUSE. LA POINTE AFM JOUE UN DOUBLE ROLE: ELLE PERMET NON SEULEMENT LA DETECTION DES FORCES INTER-ATOMIQUES PRESENTES ENTRE L'EXTREMITE DE LA POINTE ET LA SURFACE MAIS ELLE AGIT COMME UNE PARTICULE DIFFUSANTE DE RAYLEIGH POUR PERTURBER LE CHAMP PROCHE OPTIQUE PRESENT A LA SURFACE DE L'ECHANTILLON. CETTE CONFIGURATION PERMET L'ACQUISITION SIMULTANEE DE L'IMAGE AFM (TOPOGRAPHIE) ET DE L'IMAGE SNOM (OPTIQUE). LES PREMIERS RESULTATS OBTENUS SUR UN RESEAU DE PLOTS D'ALUMINIUM (PAS DE 400 NM) DEPOSE SUR UN SUBSTRAT DE VERRE NOUS ONT AMENE A NOUS INTERROGER SUR LES ARTEFACTS QUE CETTE ARCHITECTURE ENGENDRE DANS LA FORMATION DE L'IMAGE OPTIQUE, EN PARTICULIER, LA PRESENCE DU LEVIER AFM A UNE FAIBLE DISTANCE DE LA SURFACE ET LES VARIATIONS DE DISTANCE SONDE-SURFACE INDUITES PAR LES INSTABILITES DE L'OSCILLATEUR (LE LEVIER AFM). L'APPLICATION CONCERNE L'ETUDE D'ECHANTILLONS MAGNETIQUES (GRENATS SUBSTITUES) PAR DES EFFETS MAGNETO-OPTIQUES EN CHAMP PROCHE (FARADAY ET DICHROIQUE CIRCULAIRE MAGNETIQUE). LES IMAGES OBTENUES MONTRENT D'UNE PART, UN DECOUPLAGE ENTRE L'INFORMATION TOPOGRAPHIQUE ET LA DISTRIBUTION DE L'AIMANTATION A LA SURFACE DE L'ECHANTILLON ET D'AUTRE PART UNE DISTRIBUTION DE L'AIMANTATION EN SURFACE PLUS COMPLEXE QUE CELLE DE VOLUME.

Ce travail de thèse traite l'interaction d'un champ lumineux incident avec l'extrémité d'une sonde SNOM sans ouverture. Dans des conditions d'éclairage appropriées, une exaltation localisée du champ electromagnétique a lieu au voisinage immédiat de la pointe éclairée. Ce phénomène, connu sous l'effet de pointe optique, génère une source lumineuse très intense et fortement confinée spatialement à l'extrémité de la sonde. Une idée originale a été proposée pour mettre en évidence expérimentalement en champ proche cet effet de pointe et permettre d'entreprendre une étude paramétrique relativement complète d'un tel phénomène. Une modélisation numérique de ce dernier a été aussi effectuée et confrontée aux résultats expérimentaux obtenus. Cette étude a permis en définitive de dégager les conditions optimales d'excitation de la nanosource optique et de définir un protocole de lithographie optique avec une résolution manométrique

L'étude expérimentale et théorique dans le domaine du champ proche optique de l'excitation de plasmons de surface localisés sur une nano-particule métallique isolée est l'idée directrice de ce manuscrit. L'étude approfondie de leurs propriétés optiques à l'aide du microscope optique en champ proche à sonde sans ouverture (SNOM) développé au laboratoire à un objectif double : exploiter leurs propriétés de résonance pour exalter les signaux mesurés en spectroscopie Raman augmentée de surface, en microscopie et spectrocopie optiques en champ proche et améliorer la compréhension des processus physiques intervenant dans la caractérisation des surfaces à une échelle sub-longueur d'onde. Le dispositif expérimental est basé sur un microscope à force atomique (AFM). Celui-ci permet l'utilisation d'une sonde en silicium en tant que sonde diffusant le champ proche. L'AFM permet également l'asservissement nécessaire à la régulation de la distance sonde-échantillon. Une étude préliminaire a validé la capacité du microscope optique en champ proche à détecter une onde champ proche de référence, l'onde évanescente de Fresnel montrant ainsi le rôle joué par chacun des paramètres expérimentaux du SNOM. Nous avons réalisé une modélisation du système de détection optique et l'avons comparé aux résultats expérimentaux. Dans la partie principale du manuscrit, nous présentons les images de champs proche optique d'une particule d'or. Ces images sont l'aboutissement d'une étude approfondie où nous avons progressivement amélioré les performances du microscope. Nous nous sommes assurés que l'information extraite de ces images n'est pas issue d'artéfacts. Ces travaux ont permis de déterminer la résonance optique en champ proche d'une particule d'or isolée et une première approche comparative avec des modèles simples a été réalisée. Ces résultats sont prometteurs pour la compréhension du processus de détection des signaux de champ proche et pour leur exploitation en spectroscopie locale.

La microscopie de champ proche optique (SNOM) est une technique novatrice pour la caractérisation fine des composants de l'optique intégrée. Néanmoins, une difficulté du SNOM réside dans la réalisation de sondes fines et reproductibles donnant un signal pouvant correspondre à une composante déterminée du champ local. De ce point de vue, les SNOM à sonde diffusante (s-SNOM), qui utilisent des sondes de microscopes à force atomique, apparaissent très prometteurs. Cette thèse présente l'étude et le développement de cette technique dans le cas de composants en fonctionnement. D'abord nous réalisons des cartes d'intensité sur des guides peu diffusants (guide à échange d'ions). L'analyse du signal montre que les pertes rayonnées des structures étudiées interfèrent avec le signal issu de l'apex de la sonde, selon une relation de phase dépendant de la direction de propagation des modes guidés. La possibilité de discriminer un mode progressif d'un mode régressif est ainsi mise en évidence. Nous montrons ensuite théoriquement et expérimentalement la possibilité de déterminer localement le spectre de réflectivité complexe dans le cas de guides à réseaux de Bragg monomodes. Nous consacrons une dernière partie à l'étude de composants présentant des pertes par diffusion importantes (guide à réseau de Bragg, guides en silicium poreux et multicouche). Sur ces composants, un système de détection interférométrique hétérodyne est utilisé. Celui-ci fournit une carte d'amplitude et de phase, permet de s'affranchir en partie de l'influences des pertes et simplifie l'anlayse modale (indices effectifs)

Observer la propagation de la lumière dans les structures guidantes est difficile voire impossible avec des dispositifs optiques standards. La microscopie optique en champ proche permet cette observation en utilisant des sondes fabriquées à partir de fibres optiques étirées. On parle de sondes à ouverture optique. Nous proposons, dans cette thèse, pour la première fois, de réaliser ces études avec des sondes de la microscopie à force atomique, métalliques ou semi-conductrices. On parle alors de sondes sans ouverture optique. Un microscope optique en champ proche à sonde sans ouverture a donc été développé à partir d'un AFM commercial et utilisé pour la caractérisation de guides d'ondes réalisés par échange d'ions. Après avoir montré comment détecter un champ évanescent en utilisant le mode contact intermittent de l'AFM et une détection synchrone, le processus de formation des images est analysé en détail. Il met en évidence un effet interférométrique entre le champ guidé, diffusé par la sonde et la lumière diffusée par les défauts de surface. Un tel microscope peut alors conduire à la détermination des grandeurs caractéristiques d'une structure guidante : cartographie du champ propagé, profils de mode en sortie de composant, mesure de constantes de propagation. Nous présentons le montage expérimental, les résultats sur la caractérisation de guides d'ondes confinés, l'observation du déséquilibres d'une jonction Y et le développement d'une détection interférométrique hétérodyne pour améliorer les performances

LA COMPREHENSION DES MECANISMES PHYSIQUES QUI REGISSENT LA FORMATION DES IMAGES SNOM EST L'IDEE DIRECTRICE DE CE MANUSCRIT. NOUS ABORDONS CE PROBLEME DANS LE CAS PARTICULIER D'UN MICROSCOPE SNOM UTILISANT UNE SONDE DIFFUSANTE EN TUNGSTENE TRAVAILLANT DANS LE MODE AFM CONTACT-INTERMITTENT. NOUS DECRIVONS D'ABORD LES POTENTIALITES DU MICROSCOPE QUE NOUS AVONS DEVELOPPE AINSI QUE LES DIFFERENTES ETAPES QUI MENENT A LA FORMATION DE L'IMAGE SNOM DANS LE MODE VIBRANT QUE NOUS UTILISONS. CETTE PARTIE NOUS PERMET EGALEMENT DE DISCUTER DE LA DEPENDANCE DU SIGNAL OPTIQUE AVEC LE COMPORTEMENT MECANIQUE DE LA SONDE AU COURS DE L'IMAGERIE. NOUS PRESENTONS ENSUITE DEUX ETUDES PARTICULIERES QUI NOUS ONT PERMIS D'ETABLIR LA SENSIBILITE DE LA SONDE AUX CARACTERISTIQUES DU CHAMP ELECTROMAGNETIQUE AUQUEL ELLE EST SOUMISE. L'ETUDE DE COMPOSANTS DE L'OPTOELECTRONIQUE EN EMISSION FAIT L'OBJET DE LA PREMIERE ETUDE. L'INSTRUMENTATION OPTIQUE POLYVALENTE, DONT EST DOTE NOTRE MICROSCOPE, NOUS A PERMIS D'ETUDIER L'INFLUENCE DE L'AMPLITUDE DE VIBRATION DE LA SONDE, DE LA DIRECTION DE COLLECTION DU SIGNAL OPTIQUE AINSI QUE DE LA FREQUENCE DE DEMODULATION SYNCHRONE SUR LE CONTENU DE L'IMAGE SNOM. NOUS AVONS AINSI PU DEFINIR UNE CONFIGURATION EXPERIMENTALE OPTIMALE DANS LA DESCRIPTION DU MODE EMIS PAR UNE DIODE LASER. DANS CETTE ETUDE, NOUS AVONS MIS EN VALEUR LA CAPACITE DE LA SONDE A SE COMPORTER COMME UN DETECTEUR LOCAL DE LUMIERE. LA DEUXIEME ETUDE PRESENTE UNE EXPERIENCE DE PHOTOPOLYMERISATION SUB- QUI NOUS A PERMIS DE DEMONTRER LA CAPACITE D'UNE SONDE METALLIQUE A SE COMPORTER COMME UNE SOURCE LUMINEUSE LOCALE. NOUS UTILISONS UNE SONDE EN TUNGSTENE DANS LES CONDITIONS D'EXALTATION DU CHAMP POUR PHOTOINDUIRE LOCALEMENT LE PROCESSUS DE POLYMERISATION. NOUS PRESENTONS DEUX CONFIGURATIONS EXPERIMENTALES POUR LESQUELLES UNE EXALTATION LOCALE A DONNE LIEU A LA CREATION D'UN OBJET POLYMERE DE TAILLE NANOMETRIQUE ET DISCUTONS DES RESULTATS SOUS LEUR ASPECT OPTIQUE ET PHYSICO-CHIMIQUE.

De récentes études ont montré que les ondes électromagnétiques, proche d'une structure diffusante telle qu'une pointe de microscope à force atomique (AFM), peuvent être diffusées et détectées en champ lointain. Ainsi, la détection d'ondes de surface par microscopie optique en champ proche (SNOM) est une technique prometteuse dans le cadre des mesures thermiques aux petites échelles. Une telle technologie prend alors le nom de microscope TRSTM (Thermal Radiation Scanning Tunnelling Microscopy).Le travail de thèse présenté dans ce manuscrit se scinde en deux étapes. La première a trait à nos travaux expérimentaux basés sur le montage d'un dispositif TRSTM. Nous en décrivons les différentes composantes, ainsi que les difficultés rencontrées liées à son fonctionnement. En outre, divers outils numériques, destinés à détecter et extraire tout signal périodique utile, sont développés. La seconde étape se concentre sur nos travaux numériques. Nous y proposons un modèle de diffusion d'ondes électromagnétiques basé sur la FDTD (Finite-Difference Time-Domain) et la transformation champ proche/champ lointain. Ce modèle a été validé par l'étude de dipôles, puis de sphères dispersives à proximité d'un substrat diélectrique. Alors, un certain nombre de simulations de diffusion d'ondes évanescentes par une pointe, de diverses formes et de divers matériaux, proche d'une interface, est présenté.