L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL A ETE D'ETUDIER ET DE DEVELOPPER UNE NOUVELLE TECHNIQUE DE MICROSCOPIE OPTIQUE EN CHAMP PROCHE (SNOM) AYANT LA PARTICULARITE D'UTILISER UNE POINTE METALLIQUE SANS OUVERTURE A LA PLACE DE NANO-OUVERTURES CLASSIQUEMENT UTILISEES. APRES AVOIR DECRIT LES PRINCIPALES CONFIGURATIONS SNOM EXISTANTES, NOUS PRESENTONS LE PRINCIPE PROPOSE ET DECRIVONS LE MONTAGE EXPERIMENTAL REALISE POUR LE CONCRETISER. LE MICROSCOPE DEVELOPPE TRAVAILLE EN REFLEXION, IL EST COUPLE A UN MICROSCOPE A FORCE ATOMIQUE (AFM), UTILISANT LA MEME POINTE, FONCTIONNANT EN MODE TAPPING. UNE FOIS LE MICROSCOPE EN CHAMP PROCHE REALISE NOUS AVONS ETUDIE LES INTERACTIONS ENTRE LA POINTE ET LA SURFACE DE L'ECHANTILLON ET EN AVONS DEDUIT LES PRINCIPALES CARACTERISTIQUES. DE NOMBREUSES IMAGES DANS LE VISIBLE (LONGUEUR D'ONDE = 0.67 MICRON) D'ECHANTILLONS DETERMINISTES (RESEAUX, LIGNES, MARCHES) ONT REVELE DANS UN PREMIER TEMPS UNE RESOLUTION OPTIQUE MEILLEURE QUE 100 NM A L'AIDE DE POINTES COMMERCIALES EN TUNGSTENE. PAR LA SUITE, L'UTILISATION DE POINTES EN TUNGSTENE QUE NOUS FABRIQUONS PAR ELECTROCHIMIE NOUS A PERMIS D'ATTEINDRE UNE RESOLUTION MEILLEURE QUE 15 NM (LONGUEUR D'ONDE SUR 45). DE PLUS, UNE INDEPENDANCE INDENIABLE ENTRE LES SIGNAUX SNOM ET AFM A ETE MIS EN EVIDENCE. L'UTILISATION DU MICROSCOPE DANS L'INFRAROUGE MOYEN (LONGUEUR D'ONDE = 10.6 MICRONS) A CONFIRME L'INTERET DE CETTE NOUVELLE APPROCHE PUISQUE NOUS AVONS ATTEINT UNE RESOLUTION D'ENVIRON LONGUEUR D'ONDE SUR 600 DANS CE DOMAINE SPECTRALE

LA COMPREHENSION DES MECANISMES PHYSIQUES QUI REGISSENT LA FORMATION DES IMAGES SNOM EST L'IDEE DIRECTRICE DE CE MANUSCRIT. NOUS ABORDONS CE PROBLEME DANS LE CAS PARTICULIER D'UN MICROSCOPE SNOM UTILISANT UNE SONDE DIFFUSANTE EN TUNGSTENE TRAVAILLANT DANS LE MODE AFM CONTACT-INTERMITTENT. NOUS DECRIVONS D'ABORD LES POTENTIALITES DU MICROSCOPE QUE NOUS AVONS DEVELOPPE AINSI QUE LES DIFFERENTES ETAPES QUI MENENT A LA FORMATION DE L'IMAGE SNOM DANS LE MODE VIBRANT QUE NOUS UTILISONS. CETTE PARTIE NOUS PERMET EGALEMENT DE DISCUTER DE LA DEPENDANCE DU SIGNAL OPTIQUE AVEC LE COMPORTEMENT MECANIQUE DE LA SONDE AU COURS DE L'IMAGERIE. NOUS PRESENTONS ENSUITE DEUX ETUDES PARTICULIERES QUI NOUS ONT PERMIS D'ETABLIR LA SENSIBILITE DE LA SONDE AUX CARACTERISTIQUES DU CHAMP ELECTROMAGNETIQUE AUQUEL ELLE EST SOUMISE. L'ETUDE DE COMPOSANTS DE L'OPTOELECTRONIQUE EN EMISSION FAIT L'OBJET DE LA PREMIERE ETUDE. L'INSTRUMENTATION OPTIQUE POLYVALENTE, DONT EST DOTE NOTRE MICROSCOPE, NOUS A PERMIS D'ETUDIER L'INFLUENCE DE L'AMPLITUDE DE VIBRATION DE LA SONDE, DE LA DIRECTION DE COLLECTION DU SIGNAL OPTIQUE AINSI QUE DE LA FREQUENCE DE DEMODULATION SYNCHRONE SUR LE CONTENU DE L'IMAGE SNOM. NOUS AVONS AINSI PU DEFINIR UNE CONFIGURATION EXPERIMENTALE OPTIMALE DANS LA DESCRIPTION DU MODE EMIS PAR UNE DIODE LASER. DANS CETTE ETUDE, NOUS AVONS MIS EN VALEUR LA CAPACITE DE LA SONDE A SE COMPORTER COMME UN DETECTEUR LOCAL DE LUMIERE. LA DEUXIEME ETUDE PRESENTE UNE EXPERIENCE DE PHOTOPOLYMERISATION SUB- QUI NOUS A PERMIS DE DEMONTRER LA CAPACITE D'UNE SONDE METALLIQUE A SE COMPORTER COMME UNE SOURCE LUMINEUSE LOCALE. NOUS UTILISONS UNE SONDE EN TUNGSTENE DANS LES CONDITIONS D'EXALTATION DU CHAMP POUR PHOTOINDUIRE LOCALEMENT LE PROCESSUS DE POLYMERISATION. NOUS PRESENTONS DEUX CONFIGURATIONS EXPERIMENTALES POUR LESQUELLES UNE EXALTATION LOCALE A DONNE LIEU A LA CREATION D'UN OBJET POLYMERE DE TAILLE NANOMETRIQUE ET DISCUTONS DES RESULTATS SOUS LEUR ASPECT OPTIQUE ET PHYSICO-CHIMIQUE.

Les techniques de microscopie optiques dites classiques sont limitées en résolution latérale par le critère de Rayleigh. La microscopie en champ proche optique à balayage (Scanning Near-field Optical Microscopy: SNOM) repose sur l'emploi d'une sonde de taille nanométrique (sublongueur d'onde) comme nano-détecteur (SNOM en mode collection) ou comme nano-source (SNOM en mode transmission). Cette sonde est basée sur des leviers de microscopie à force atomique (Atomic Force microscopy: AFM) classiques en Nitrure de Silicium métallisés et comportant une ouverture de 80nm. Cette thèse est destinée à la mise en place d'un AFM couplé à un SNOM en vue de l'obtention d'images simultanées de la topographie et du signal optique issu d'échantillons fluorescents. Après avoir présenté à la fois les différentes techniques classiques dédiées à la détection de fluorescence ainsi que les techniques de champ proche, les trois bancs de mesures utilisés (fonctionnant en mode illumination ou en mode collection en transmission) sont détaillés. L'imagerie AFM nécessitant une fixation de l'échantillon sur son support, différents protocoles de fixation sont présentés et leurs efficacités discutées selon le type d'échantillon et au regard de résultats AFM. Des simulations électromagnétiques sur la transmission optique de la pointe selon qu'elle fonctionne comme source ou détecteur sont réalisées, permettant de valider le mode SNOM en illumination en transmission. Enfin, l'étude d'un SNOM du commerce et du SNOM mis en place est basée sur l'imagerie AFM et Fluorescence-SNOM sur trois échantillons types: des bactéries (Escherichia coli) exprimant une protéine fluorescente (EGFP: Enhanced Green Fluoresceent Protein), des billes fluorescentes de diamètre 100nm et enfin des brins d'ADN peignés sur lame de verre

Observer la propagation de la lumière dans les structures guidantes est difficile voire impossible avec des dispositifs optiques standards. La microscopie optique en champ proche permet cette observation en utilisant des sondes fabriquées à partir de fibres optiques étirées. On parle de sondes à ouverture optique. Nous proposons, dans cette thèse, pour la première fois, de réaliser ces études avec des sondes de la microscopie à force atomique, métalliques ou semi-conductrices. On parle alors de sondes sans ouverture optique. Un microscope optique en champ proche à sonde sans ouverture a donc été développé à partir d'un AFM commercial et utilisé pour la caractérisation de guides d'ondes réalisés par échange d'ions. Après avoir montré comment détecter un champ évanescent en utilisant le mode contact intermittent de l'AFM et une détection synchrone, le processus de formation des images est analysé en détail. Il met en évidence un effet interférométrique entre le champ guidé, diffusé par la sonde et la lumière diffusée par les défauts de surface. Un tel microscope peut alors conduire à la détermination des grandeurs caractéristiques d'une structure guidante : cartographie du champ propagé, profils de mode en sortie de composant, mesure de constantes de propagation. Nous présentons le montage expérimental, les résultats sur la caractérisation de guides d'ondes confinés, l'observation du déséquilibres d'une jonction Y et le développement d'une détection interférométrique hétérodyne pour améliorer les performances

L’objectif de la thèse est de modéliser l’interaction rayonnement-matière en microscopie optique de champ-proche sans ouverture ASNOM (Apertureless Scanning Near-Field Optical Microscopy), de manière à fournir une méthode prédictive de formation des images. En effet, le calcul du champ électromagnétique, diffracté par la sonde et les objets matériels impliqués dans cette microscopie, doit tenir compte avec précision de la forme des structures mises en jeu et doit pouvoir révéler les forts gradients du champ-proche. Plusieurs groupes expérimentaux utilisent cette technique expérimentales dans le monde mais aucun modèle à ce jour ne décrivait à la fois l’interaction électromagnétique complexe entre l’illumination, la sonde et l’échantillon et la détection. L’approche que nous proposons est celle des éléments finis avec maillage adaptatif. Nous formulons du problème avant de le valider par des comparaisons avec des méthodes souvent utilisées dans le domaine du champ-proche optique (méthode de Green, FDTD...). Dans la seconde partie, nous abordons l’étude du confinement de la lumière à l’extrémité nanométrique de la sonde du microscope et nous proposons un modèle réaliste pour expliquer les images obtenues à l’aide d’un ASNOM. En plus des interactions sonde-objet-substrat, ce modèle prend aussi en compte la vibration de la sonde et l’objectif de microscope utilisé pour détecter le signal optique. Le bon accord des résultats de simulations avec les expérimentaux encourage à utiliser la méthode des éléments finis

CE TRAVAIL ABORDE L'ANALYSE EXPERIMENTALE ET THEORIQUE DES IMAGES OBTENUES A L'AIDE D'UN MICROSCOPE OPTIQUE EN CHAMP PROCHE A SONDE SANS OUVERTURE (APERTURELESS SNOM) UTILISANT DES SONDES VIBRANTES EN SILICIUM ET EN NITRURE DE SILICIUM. LE DISPOSITIF EXPERIMENTAL SE COMPOSE D'UN MICROSCOPE A FORCE ATOMIQUE (AFM) COMMERCIAL MODIFIE POUR INTEGRER UNE DETECTION OPTIQUE. LA SONDE AFM JOUE UN DOUBLE ROLE : EN PLUS DE SON ROLE DE DETECTEUR DES FORCES INTER-ATOMIQUES ENTRE SON L'EXTREMITE ET LA SURFACE DE L'ECHANTILLON, ELLE EST RESPONSABLE DE LA DIFFUSION DU CHAMP PROCHE OPTIQUE CONFINE AU DESSUS DE CETTE SURFACE. CETTE CONFIGURATION PERMET UNE ACQUISITION SIMULTANEE DES IMAGES SNOM (OPTIQUES) ET DES IMAGES AFM (TOPOGRAPHIQUES). LES PREMIERS RESULTATS, OBTENUS SUR UN ECHANTILLON TEST, MONTRENT UNE DEPENDANCE DES IMAGES SNOM A DES PARAMETRES PUREMENT OPTIQUES, TELS QUE LA POLARISATION DU FAISCEAU INCIDENT ET LES DIRECTIONS D'ILLUMINATION ET DE DETECTION. CES IMAGES SONT EGALEMENT SENSIBLES A LA DISTANCE MOYENNE SONDE-ECHANTILLON ET A L'AMPLITUDE DE VIBRATION DE LA SONDE. LE DISPOSITIF EXPERIMENTAL EST ENSUITE VALIDE PAR LA DETECTION D'UN CHAMP PROCHE OPTIQUE DE REFERENCE (L'ONDE EVANESCENT DE FRESNEL) ET PAR UNE COMPARAISON DES RESULTATS EXPERIMENTAUX AVEC DES CALCULS ISSUS DE LA MODELISATION DE LA DETECTION OPTIQUE. UNE PREMIERE APPLICATION DE NOTRE CONFIGURATION HYBRIDE AFM/SNOM CONCERNE L'IMAGERIE DE FLUORESCENCE. LES RESULTATS OBTENUS MONTRENT DES IMAGES COMPLEXES QUI DEMANDENT DES EXPERIENCES COMPLEMENTAIRES ET UNE COMPARAISON AVEC DES CALCULS NUMERIQUES UTILISANT UN MODELE REALISTE POUR LES INTERPRETER. LA DERNIERE PARTIE DE CE TRAVAIL TRAITE D'UNE ETUDE PRELIMINAIRE SUR LA MODELISATION DE LA DETECTION DES IMAGES DE SNOM UTILISANT UNE SONDE SANS OUVERTURE DANS LE MODE VIBRANT.